二手 SEMITOOL Sirius #293590463 待售

SEMITOOL Sirius是SEMITOOL公司製造的下一代光刻胶系统。它是为高质量的光刻生产而设计的全自动单基板光刻系统。天狼星由四个主要部件组成-一个电动抵抗送货臂、一个集成的基板处理机器人、一个先进的喷雾分配头和一个大型的用户友好控制面板。SEMITOOL Sirius可以处理单面和双面晶圆基板，以及法兰样式基板。机动抗蚀剂输送臂有助于将抗光剂输送到基板上。机器人手臂有助于确保准确、均匀的传送，手臂速度可调以确保精度。集成机器人有助于基板处理，并允许自动装卸基板托盘。它还允许自动刀具定位和提升，使光刻胶正确定向并正确放置在基板上。先进的喷雾分配头可实现精确甚至光刻胶的分布。它的喷嘴设计和操作也有助于减少过程中溢出的光致抗蚀剂量。磁头能够准确控制沉积在基板上的光刻胶的数量和方向。用户友好的控制面板易于操作，允许用户快速编程和监控过程。控制面板专为自动/手动操作而设计，它为用户提供了对屏幕上的图形和缩放、显示警报以及全自动过程控制功能的访问权限。归根结底，天狼星是一种强大可靠的光刻系统，旨在以最高效的方式为制造商提供高质量的光刻生产。集成的机器人和分配头确保光刻胶在基板上的传递一致而准确，而控制面板则允许对过程进行简单快速的编程和监控。SEMITOOL Sirius是制造商使用的可靠且经济高效的光刻胶解决方桉。