二手 SEMITOOL Sirius #293622591 待售
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ID: 293622591
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
System, 12"
Rotor, 8"
Stainless steel 316
Process: Spray ozone
Ammonia process modules
ASTEX AX8400 Ozone generator system
BMT 930 Ozone monitor
Ammonia tank
Mix control
Standard pneumatic panel
DI Panel
O2 Panel
NH4OH Panel
Motor
Control
TREBOR Quantum 30 Hot DI system
Voltage: 380 VAC, 45 Amp
Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC
Full load current: 45 AMP
Largest motor or load :20 Amp
2008 vintage.
SEMITOOL Sirius是由SEMITOOL製造的全自动光刻设备。它是为在半导体工业中先进的光刻应用而开发的。该系统提供高性能功能,如激光激活扫描和非接触式抗蚀条、自动晶圆处理和处理,以及简单的用户界面。天狼星单元被设计成达到晶圆表面预处理的最高水平。它能够将光刻胶精确地沉积到基板表面上，并保持适合微光刻加工的表面均匀性。机器由一个单室、处理器头和一个直流电源组成。加工头配有染料，在沉积前将光致抗蚀剂输送到晶片表面。Dyejet工具安装在机械手上，并被编程为根据一组编程的指令对晶圆表面进行阵列设计。SEMITOOL Sirius采用集成的自动矫直技术，以确保微光刻工艺的准确性和可靠性能。它利用激光引导扫描资产，精确调整扫描仪头相对于晶圆表面的角度和对准。Sirius还提供了一种非接触式阻挡带功能,它可以更好地控制条带过程,并且无需手动处理。SEMITOOL Sirius模型具有用户友好的图形用户界面（GUI），与标准软件包完全兼容。它在设计上是模块化的，在需要时可以通过附加的功能和部件进行升级。该设备具有自检功能和诊断系统，以确保可靠的光敏沉积。天狼星单元非常适合先进的光刻应用，提供高分辨率和过程精度和可重复性。该机可靠、高效、经济高效，是半导体工业应用的绝佳选择。
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