二手 SEMITOOL Sirius #293671304 待售

SEMITOOL Sirius是一种光刻设备，设计用于生产尖端微电子元件的关键光刻工艺。该系统具有自动曝光（AE）、自动开发（AD）站和光刻带（PS）站等工艺套件,它们都是生产精密微电子元件的组成部分。AE站在光刻过程中起着关键作用，在光刻过程中，将光刻胶（树脂）涂层涂在硅片或其他材料基板上，然后暴露在可见光下。AE站的设计目的是以最小的失真和薄薄的光敏程度精确地暴露光刻胶。然后，AD站自动开发出曝光的光刻胶，除去被辐照的元件，并将电路图样蚀刻到基板上。与人工处理不同的是，AD站的设计提供了非常精确的结果，提高了安全性和效率。最后，PS站从基板上剥离剩余的光致抗蚀剂，留下蚀刻电路图桉。此步骤提供光滑的光洁度,并释放基板以进行进一步处理。Sirius旨在通过快速循环时间提高生产效率,同时优化成本节约。它还通过提供直观的控制和自动化的操作机器来简化单元操作。为了进一步定制,用户可以将第三方软件集成到工具中,以定制光刻解决方桉。为确保光刻过程中结果的一致性和质量，SEMITOOL Sirius配备了多项高级功能。这包括用于检测和补偿基板表面不规则性的自动对焦功能、用于优化成像结果的自动校准工具以及若干其他常用功能，以简化光刻胶的处理。为了增加安全性，资产还包括一个紧急停止功能，可用于快速停止模型并减少操作员错误带来的潜在危害。对于需要最新和最精确的光刻工具来进行生产的制造商来说,天狼星是一个理想的选择。凭借强大的设计和自动化功能,可以在最短的停机时间内实现准确和统一的处理。