二手 SEMITOOL Sirius #293671306 待售

SEMITOOL Sirius是一种综合性的光刻设备，旨在提高光刻加工的精度和效率。该系统旨在满足半导体行业定制的光刻胶需求，必须遵守严格的质量、速度和一致性规格。此单元能够在封闭的机器中有效地抵抗开发、加工和交付,该机器可分隔多达四种材料,并可灵活地满足各种工艺要求。该工具可用于几乎所有的光刻应用程序的手动或自动设置。资产由Sirius Processor、SEMITOOL Sirius Spinner、Sirius Chamber三个主要组件组成。SEMITOOL Sirius Processor是一个自动化程序,它使用最多四种配方同时分配晶圆和/或基材,并将其精确地涂覆到光致抗蚀剂中。这种高速旋转模型确保光刻胶的应用和均匀地散布在晶片上，这对于确保最终产品的质量和精度是必要的。同时，Sirius Spinner是一个多级刷牙装置，通过4级喷涂循环运行多达72个晶圆。阶段变化射流清洁和剥离从晶片的光致抗蚀剂，以创建必要的光刻层。SEMITOOL Sirius Chamber是一个专门设计的反应堆腔室，为应用光刻胶提供最佳固化条件，确保抗蚀剂在半导体工业应用的严密操作参数内粘附并保持稳定。Sirius光刻胶设备的设计旨在降低手工或自动生产光刻胶处理的成本和时间。该系统提供了卓越的可重复性、准确性和可靠性,这对于高性能要求的产品是必不可少的。SEMITOOL Sirius单元还设计了占地面积小，易于使用和维护。Sirius机器所做的精密光敏处理适用于广泛的半导体应用，如薄膜晶体管、高压快速开关以及集成的无源和有源元件。无论您的特定光刻技术需要什么,SEMITOOL Sirius光刻剂工具的设计都能在广泛的应用中提供可靠且可重复的光刻剂处理。