二手 SEMITOOL Sirius #293671310 待售

SEMITOOL天狼星光刻加工设备是一个可靠高效的平台，旨在优化微电子器件制造的光刻加工。Sirius采用独特和创新的设计,采用专利技术在每个周期中提供准确的处理结果。这个独立或集成的模块化平台包括一个有两个独立轨道模块的高效集成平台、一个可容纳各种工艺容器的开放式设计模块以及各种独立工艺模块。SEMITOOL天狼星平台有两个主要模块，开发者模块和剥离器模块。显影剂模块包括自旋涂层、显影光刻胶和预脉冲曝光等工艺。Stripper Module由湿剥离、干剥离和灰化等过程组成。这些模块具有手动和自动化的流程控制系统,使操作员能够监视流程参数并生成报告。这些模块还配备了有助于防止化学品暴露危害的安全功能。天狼星光敏处理系统提供高精度的工艺结果和卓越的精度。该单元采用双顶棚设计，可最大程度地减少颗粒污染，防止工艺室内的热交换。工艺温度可在20-70°C之间调节,并且机器能够将工艺压力精确控制在+/-0.5 bar以内。SEMITOOL Sirius还允许对工艺配方进行定制，以确保无论层材料和应用的最佳结果。该工具还允许整合不同的后处理技术，如灰化、蚀刻、等离子体暴露和开发后去除。天狼星被设计为提供过程效率和质量保证光刻加工。其双车顶设计、集成的安全特性、配方定制能力以及工艺参数的操控，都使资产成为可靠、经济高效的光刻加工平台。