二手 SEMITOOL Sirius #9192672 待售
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ID: 9192672
晶圆大小: 6"
Hydrozone system, 6"
Dual cassette
PSC-402B Controller
A182-60MB Rotors.
SEMITOOL Sirius是一款最先进的光刻设备,旨在为半导体光刻提供先进技术。它是半导体器件制造中处理薄膜层的专用机械。天狼星系统独特的设计和超细工程,使其能够在光刻加工中提供卓越的质量和最大的效率。该单元配备了所有必要的组件,包括一个完全集成的MPW(多项目晶圆)平台,用于多条制造线路。它能够处理直径不超过25mm、厚度不超过6mm的晶片。该机器还被配置为包括旋转和喷雾选项,用于光刻胶在晶片上的精确和均匀的应用。该工具的设计采用了新的和改进的用户界面,并配有几个用户友好的显示器,便于导航和高效使用。它配备了高级软件,可提供增强的诊断、监控和控制功能,允许用户自主监控资产中的流程参数。还提供了自动基板识别和模型功能的自动控制功能,使用户能够在最小的监督下快速、准确地设置和运行流程。此外,SEMITOOL Sirius的设计考虑到安全性,具有自动通风、互锁和空气湍流传感器等内置安全功能,旨在确保充分安全运行。设备还配有全面的售后服务包,确保系统的快速有效维护和支持。Sirius光刻胶装置非常适合专业实验室和内部电子制造,其先进的特性确保了光刻胶处理的最高质量和最高的效率。以其人性化的设计和先进的技术,本机真正树立了先进的光刻加工的标杆。
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