二手 SEMITOOL Sirius #9229812 待售
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SEMITOOL Sirius是专为满足最具挑战性的半导体器件制造工艺需求而设计的光刻设备。它是一个自动化、功能齐全的系统,旨在提供卓越的性能、准确性和易用性。天狼星由两个不同的元素组成:光刻涂层和显影和表面调节单元.光敏涂层通过高速喷涂工艺在晶片上提供均匀且可复制的湿膜厚度处理。机器配备了多个分配头,允许用户根据自己的需求选择最优化的解决方桉。它采用了专有的气体压力控制工具,在预清洁和后清洁操作中提供准确的一致性、厚度和薄膜均匀性。开发和表面调节资产具有四个专有专利处理模块。它有一个双罐光刻胶显影剂,可以完全控制开发过程。该模型还具有除泡搅拌和冲洗模块,确保生产一致和均匀的薄膜。结合表面调理模块,设备为生产高质量精密器件提供了集成解决方桉。SEMITOOL Sirius为生产高品质的光刻胶膜提供了广泛的特性和能力。其快速、精确的处理时间使芯片制造商能够以缩短的周期时间制造出可靠的设备。其集成控制系统在处理过程中提供了对晶圆表面地形的更大控制。该单元还能够在一次操作中管理多个涂层材料,并提供全面的过程验证、故障排除和数据日志管理工具。总体而言,天狼星是一个理想的光刻机广泛的前沿半导体器件制造过程。它在生产高质量的光敏胶片方面提供了极好的均匀性、准确性和可靠性。它的集成模块和控制确保了准确、可重复的处理,并使用户能够在制造过程中节省时间和成本。
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