二手 SEMITOOL Spectrum #9124180 待售

SEMITOOL Spectrum是一种设计用于半导体和集成电路产品光敏处理的设备。该系统旨在弥合湿式台式系统与内部专用光刻处理器之间的性能和成本差距。该单元提供了广泛的功能和功能,使其适合各种应用程序。Spectrum包括一个两级批式烤箱和两个定制设计的粉末模块，另外还有压敏电阻、无碳氢化合物隧道等功能，另外还有一个5 cm，用于提高精度和吞吐量。该机低温范围为39-600°C，受控氮气气氛，每批烤箱运行最多可容纳20个晶圆。该工具提供了可编程选项的选择,使客户能够自定义资产以满足个人需求。这包括解决方桉配置文件、每个序列设置、原位电场调谐、扩散控制和非易失性内存。该模型是为高精度、高温光阻涂层性能而设计的。它提供0.5 µm的精度，0.02 µm的步长分辨率和动态分辨率设置，以实现准确的工艺控制。此外，设备在晶圆和腔室的温度均匀度小于± 0.3 °C。SEMITOOL Spectrum的功能还得益于其先进的诊断和维护功能,其中包括过程和室内诊断,以及预测性维护,这有助于最大程度地减少停机时间。该系统的设计也考虑到了安全性。它有内置的联锁，保护操作员免受危险材料的伤害，以及压力和真空缓解系统。此外,设备的文档库还支持操作员诊断问题。光谱是一种可靠、高效的半导体和集成电路产品光阻处理机器。它的特点使它成为其用户极具成本效益的选择。