二手 SEMITOOL Spectrum #9232917 待售

SEMITOOL Spectrum是一种光阻设备，使用户能够快速、准确地绘制各种光阻材料的图样。它由许多组件组成,每个组件都有不同的功能,这些组件允许对晶圆进行有效的批处理。光谱具有一整套功能,包括一个更大的工艺室,以提高通量和气体分散度,改进低温光刻胶兼容性以实现更高质量的图样,以及增强对开发和沉积均匀性的控制。该过程从预处理模块开始；这是晶片清洗和预处理的地方。然后涂上光致抗蚀剂。接下来,他们前往曝光模块。在这里，晶片暴露在一个程序化的，图案化的光源。曝光后，晶片被转移到显影剂模块。这是暴露的光致抗蚀剂化学开发，允许光反应性化学物质硬化或溶解取决于他们的类型。开发光刻胶后，晶片被转移到等离子体蚀刻模块。使用等离子体,蚀刻模块将材料从晶圆表面蒸发.这样就形成了图桉化的光致抗蚀剂层。最后，模块包含一个干蚀刻模块，它使用气体、电离粒子和电压的组合来去除任何不需要的光致抗蚀剂残留物。SEMITOOL Spectrum能够容纳各种类型和尺寸的基板和光掩模材料。该系统配备了超精确的Leica™技术，用于掩模对准和在晶圆上准确曝光多个图像。此外，该装置还提供均匀的基板和光致抗蚀剂处理、快速的晶片到基板加载以及低基板处理角度和真空夹紧技术。这台光刻机也具有很高的可编程性和可定制性。用户可以选择执行的步骤顺序、速度、温度范围和压力水平以及其他细节。所有这些特性使Spectrum成为高容量、精密光刻加工的绝佳选择。