二手 SEMITOOL Spectrum #9355653 待售

SEMITOOL Spectrum是一种光致抗蚀剂设备，设计用于将化学和物理过程与化学气相沉积（CVD）相结合，在多种底物上形成平坦、均匀的光致抗蚀剂薄膜。设计为薄膜沉积、平面化、抗去除的多合一平台。该系统利用射频（RF）等离子体来启动化学反应，以获得最佳的抵抗覆盖率、厚度和均匀性。Spectrum被设计为容纳多种基材，包括硅晶片、光学玻璃、砷化氙和陶瓷。除了射频等离子体源外，它还具有真空室、高性能传质设备以及过程监控的控制系统。该单元采用CVD和光刻相结合，将薄膜光刻胶均匀准确地沉积在基板上。射频等离子体引发化学反应，在表面上形成平坦均匀的光致抗蚀剂膜。等离子体还有助于消除可能影响设备性能的空隙、划痕和残留物。一旦涂上薄膜，基板就被转移到平整平整的平面化阶段。平面化阶段利用蚀刻工艺去除表面的任何残留物或不规则性。然后将基板放置在真空室中，在真空室中固化光致抗蚀剂，从而在表面形成均匀一致的薄膜。然后基板准备好进行抗蚀剂去除。这可以通过湿蚀刻或激光烧蚀来完成。湿蚀刻利用一系列化学物质溶解表面的光刻胶。激光烧蚀采用专用激光从表面轻轻蒸发光刻胶。最后对基板进行测试，确保基板适合设备制造。这是通过在设备上运行电气测试来完成的,以确保设备正常工作并且设备没有缺陷。SEMITOOL确保所有通过测试的设备都可用于商业用途。SEMITOOL Spectrum是一款高效、精密的光刻机，旨在提供具有统一、一致和可靠覆盖范围的高精度设备。它非常适合用于需要基板上均匀的光敏层的应用，同时确保得到的设备的最佳性能。