二手 SEMITOOL Spectrum #9384195 待售

SEMITOOL Spectrum是一种专门的光阻设备，设计用于在半导体器件的制造中提供最高水平的控制。该系统利用湿处理方法和干法提供对层厚度和形状的完全控制,并能够为超细集成电路生产高度复杂的层。该装置利用反应性气相沉积（RVD）的光致抗蚀剂，这在IC的生产中是非常有利的，因为它可以用于产生非常低排泄率的厚光致抗蚀剂层。光致抗蚀剂沉积过程分为两个主要阶段，每个阶段都可以在湿法或干法过程中进行。在第一阶段，一个平坦的基板被涂上所需的光刻胶，然后是第二阶段，在此期间，光刻胶被转换成所需的图样。光谱的支持技术是它控制光敏层厚度的能力。层厚度可以通过控制沉积的光刻胶蒸气量来精确控制，使IC的设计细节极为精细。层厚度也可调节，使不同厚度的基板产生。此外，SEMITOOL Spectrum机器还提供了一种自动控制工具，用于管理光刻胶生产所需的干湿工艺。这样就可以在整个光致抗蚀剂层上产生非常均匀的厚度,从而对成品集成电路的外观提供最高级别的控制。光谱对光刻胶工艺的控制提供了层级设计的精确度，这在传统方法中是不可能的。资产的特性允许在短短几秒钟内对详细的设计进行变异，还提供了快速重现错误的能力，使其成为批量生产的理想模型。SEMITOOL Spectrum结合干式和湿式处理的优点，使详细集成电路的生产速度和精确度显着。对干法和湿法过程进行精确的沉积控制和管理，可以达到传统光刻胶加工所无法达到的精度水平。该设备是生产高可靠性、高性能复杂集成电路的必要工具。