二手 SEMITOOL SPS-2000 #9284262 待售

SEMITOOL SPS-2000是一种先进的光刻设备，设计用于晶圆调节、干条、旋转和喷涂作业。该系统旨在满足当今半导体晶片化学机械加工的高精度要求。该单元能够处理直径达六英寸的晶片，并配有可编程基板工艺控制器。此控制器最多可执行16个程序,每个程序最多可执行32个段。它还提供定制的程序段和参数调整，允许用户以最少的人工干预来处理基板。此外,SPS-2000还具有检测喷雾操作过程中晶圆停止的能力。精密喷头是SEMITOOL SPS-2000的一个重要特点.喷头的设计采用不同尺寸的喷嘴,使用5轴加工工艺创建。这有助于创建所需的喷涂图样以获得均匀的薄膜。喷头可通过手动或电机驱动的工艺根据高度和角度进一步调节。在干式带材应用中，SPS-2000采用带双通道气泡的湿式台阶来精确控制去离子水的温度和流量。这有助于确保与晶片接触时的精确蚀刻行为,实现所需的薄膜轮廓,而不会造成接触式潜水片或热板损坏。该机还具有自动热板检测功能，可防止热板接触晶圆，从而消除潜在的损坏。此外,SEMITOOL SPS-2000包括一个集成的高速旋转工具,可提供2200 rpm的速度精度。它具有耐用的摩托和双轴承设计,以及平衡的外轮,可提高精密性能。可以在资产中添加可选的噪声滤波器，以减少环境噪声，提高涂层操作的准确性。综上所述，SPS-2000是一种通用且先进的光刻胶模型，使用户能够进行精确的晶圆调节、干条、旋转和喷涂。它提供了可自定义的程序和参数,以及可调节和精确的喷头、气泡设备、旋头和防热板。由于这些原因，该系统对于需要可靠、精确的光刻装置的厂商来说是绝佳的选择。