二手 SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML #9139663 待售

SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML光刻设备是专为半导体制造而设计的精密专用光刻平台。该系统利用先进的深层紫外线（DUV）和激光处理技术，使光刻材料能够在半导体表面上进行光刻蚀刻。SRD-2405-3-1-E-ML由一些专为优化半导体制造而设计的部件组成。其功能包括使用大直径超细投影镜头单元，利用数字成像技术确保多层抗蚀剂的精确定位和对准，以及能够在目标材料上产生高分辨率图样的激光源。机器还包含一个机器人辅助晶片处理工具（RABR），它自动定位晶片用于光刻过程。此外，SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML还配备了综合抽水设备，以保持清洁的加工环境，方便快速周转。它能够执行不同类型的工艺，包括单涂层、全涂层和多层光刻涂层，以及蚀刻和提升工艺。最后，该模型配备了先进的软件包，提供全面的过程控制和数据采集能力。这样可以提高生产效率和高度可重复的过程结果。总体而言，SRD-2405-3-1-E-ML光刻设备是一个功能强大、用途广泛的平台，旨在满足现代半导体制造的精确要求。