二手 SEMITOOL SRD 270 #293595251 待售

SEMITOOL SRD 270是一种光阻设备，用于在半导体晶圆上沉积薄膜。它是一个先进的系统，具有独特的多位置加载盒式潜水模块和获得专利的盒式环境控制单元（CEC）。SRD 270机器通过激光蚀刻光刻层以非常高效和准确的方式制造薄膜。它配备了高强度脉冲激光二极管、先进的扫描控制器和最先进的控制软件。该工具提供了在200 mm、300 mm和450mm晶片上沉积薄膜的高精度和可重复性。SEMITOOL SRD 270资产由三个主要组成部分组成。首先，将多位加载的盒式浸入式模块用于晶片的装卸。它由激光集成模块和盒式潜水模型组成。第二，在蚀刻过程中使用运动控制设备移动光学器件。它具有光学直线平移级和precisionn步进电机.最后，使用卡带环境控制系统（CEC）来控制卡带浸没模块的温度和湿度。SRD 270单元最多可在四种配置中操作。在单位置模式下，一次可以蚀刻单个晶片；在同时浮动配置中，可以同时蚀刻两个晶片；在同步滑动模式下，可以同时蚀刻四个晶圆。最后，扩展滑动模式允许在单个循环中蚀刻多达18个晶圆。SEMITOOL SRD 270机还具有先进的过程控制和数据收集软件。它具有自动SPC，记录和存储每个晶圆蚀刻周期的重要工艺参数。它还记录了盒式潜水模块的温度、湿度和其他环境参数。然后将数据用于监视和优化蚀刻过程。总体而言，SRD 270是一种强大的光阻工具，为制造商提供了在半导体晶片上沉积薄膜的高精度和重复性。通过将获得专利的CEC技术与先进的扫描控制软件相结合，能够生产出非常精确的晶圆尺寸的薄膜。这使得它成为现代半导体生产的可靠高效的解决方桉。