二手 SEMITOOL SRD 270 #9135998 待售
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ID: 9135998
优质的: 1995
Table-top spin rinse dryer
Controller: PSC-101
Rotor actual balanced fluoroware carrier: 4”,5” and 6“
(4) Bolt rotor assembly
Resistivity probe in drain
220 VAC, 50/60 Hz
1995 vintage.
SEMITOOL SRD 270光抗蚀剂设备是一种全自动的直列式化学工具,能够对感光材料如光抗蚀剂、PCB和薄膜磁性介质进行高效、准确的处理。其单室设计最大限度地提高了生产率和成本效益,同时最大限度地降低了使用更复杂的多室模型时经常看到的缺陷风险。该系统拥有一个高容量、高压力的送货单元,可用于高效处理,并拥有多种解决方桉,可确保准确、可重复的结果。该机器具有独有的控制级别,包括多流程控制中心和自动化流程监视器。此监视器包括实时传感器,可以向操作员发出任何过程不规范的警报,从而可以快速采取纠正措施。该工具既兼容常规开发,又兼容先进的微蚀刻工艺,提供了高精度、更快的处理时间和更强的安全性。SRD 270具有多种解决方桉,既提供干湿蚀刻工艺,也提供可剥离的多抗蚀剂。它配备了独特的冲洗输送资产以防止颗粒堆积,并具有温度和湿度控制功能以确保连续性和稳定性。其强大的垂直升降机平台能够方便地进入加工容器,同时继续保持与洁净室设施中的元素的积极隔离。该模型可容纳正常的重力馈送过程流,既可实现精确的计量,也可实现多种配置和连接。它还利用屏障技术尽量减少交叉污染,减少维护时间。SEMITOOL SRD 270最多可容纳四个直列式处理容器,并可容纳溷合负载配置,以实现最高效率。它能够进行自我故障排除和错误报告,并提供行级编程以实现作者身份和过程优化。SRD 270是任何光刻处理器的理想设备,因为它在单一可靠的系统中提供了非凡的可靠性、重复性、准确性和工作效率。它消除了对多个容器和复杂流程系统的需求,并且由于它能够管理多个流程,特别适合大批量工作。
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