二手 SEMITOOL SRD 440 #9223322 待售
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ID: 9223322
优质的: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD)
Model no: 440S31EML
Single chamber
Maximum rotor substrate diameter: 4"
Compliant poly cabinet: FM 4910
Brushless controller: PSC-101
Quick disconnect (QD) rotor: 3"
PFA Cassette (A82M0215)
Includes:
DIW
N2
Exhaust
Power supply: 120 VAC, 60 Hz
1997 vintage.
SEMITOOL SRD 440是一种最先进的光电抗蚀剂设备，设计用于精确曝光、开发和剥离用于MEMS、半导体和光电工业的光电抗蚀剂层。它具有先进的4光束相干可见光光源，以及传感器和能够精确对准和对焦控制的计算机反馈系统。四束有针对微调曝光要求的个别强度控制。此外,该软件还包括一个屏幕保护程序模式,用于在设备处于空闲状态时自动对准掩码。光学单元结合了最大限度地提高透镜校正均匀性的平场透镜。前面板上的摄像头可以方便地显示口罩对准过程。SRD 440还有一个精密的晶圆定位级，两轴两级，保证精度和重复性。该级允许将晶片精确调整到焦点位置，保证成品上的排列模式。它还具有独特的自动晶片加载功能,可自动捕获和加载多达25个晶片,从而减少手动处理时间和相关错误。该平台包含一个自动化的流程选择器，可以快速选择和计算开发时间。软件界面还允许与工厂中的其他工具轻松集成。SEMITOOL SRD 440结合了可靠、精确的光刻机，易于维护和操作，使其成为高端研究和生产环境的完美光刻工具。它有能力处理各种过程，从详细的微加工到大规模的生产运行。高效的操作和用户友好的控制确保了这种光刻胶资产能够实现更高的吞吐量和质量。
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