二手 SEMITOOL SRD-470 #293642733 待售

SEMITOOL SRD-470是业界领先的光刻设备,旨在为各种半导体晶片的曝光、开发和清洁过程提供最先进的性能。利用储水池浴池和强大的水泵，SRD-470能够准确、精确地输送少量的显影剂、冲洗后的冲洗水、光致抗蚀剂和DI水，用于生产过程。自动洗涤系统进一步提高了设备的性能，实现了精确的化学输送和晶圆清洗。SEMITOOL SRD-470能够处理各种晶圆几何形状、尺寸和材料,从薄微电路到大型复杂芯片。它包括具有单一喷嘴的独立冲洗浴室，以实现均匀的冲洗覆盖，而其独特的预溷合脉冲消除飞溅和顶空气流，以增加冲洗输送的均匀性。此外，SRD-470拥有一个智能视觉机器，跟踪晶片的位置和运动，提高晶片吞吐量和精度。SEMITOOL SRD-470还提供了一整套精确的控制机制,旨在提供高度精确的参数,例如温度、化学浓度、流量和其他质量控制功能,以确保晶圆的精确生产。内置的循环计时器和定时配置文件归档可提高流程的可重复性。安装温度报警器、晶片卡纸检测器、自动清除多个IO响应、循环脚阀、热不平衡保护和端晶片冲洗等多项功能,确保了卓越的整体可靠性。对于快速、高效的工作和无与伦比的精度，SRD-470及其各种特性使其成为半导体晶片加工应用的理想光刻工具。