二手 SEMITOOL SRD-8300 #9263224 待售

SEMITOOL SRD-8300
製造商
SEMITOOL
模型
SRD-8300
ID: 9263224
优质的: 2002
Spin Rinse Dryer (SRD) 2002 vintage.
SEMITOOL SRD-8300是一种光刻设备,设计用于处理精密和精确的均匀性小和大基板。SRD-8300采用开放式平台设计,优化了当前流程,提供了高效的操作和直观的可编程性。利用强大的步进电机,SEMITOOL SRD-8300提供精确的接触对准和精确的基板与基板分离,其精确的接触rinser和旋转传输模块。该系统为最高吞吐量提供了理想的解决方桉,标准单晶圆容量可达12英寸/300 mm,而全自动过程可以通过均匀性算法和高度灵活性来实现。现场厚度监视器和全自动分配控制单元等功能可实现卓越的过程控制,确保结果一致。除了令人印象深刻的功能外,SRD-8300的直观模式设置、流程日志和数据分析功能还为所有经验级别的操作员提供了一种易于使用的机器,简化了复杂的任务。此外,该工具的伺服控制盐浴和钝化控制为用户提供了超精确的操作,以满足严格的规格要求。强大的性能和最小的维护使SEMITOOL SRD-8300最苛刻的流程的可靠资产。为了确保每一步的最高质量和可靠性,SRD-8300设计了一种创新的光学传送模型,能够提供重要的性能数据,如真空强度、曝光时间和其他参数。这些数据最终被用于最大限度地提高设备的工艺精度和统一性,并用于分析整体性能。总体而言,SEMITOOL SRD-8300是一个强大的光刻系统,提供高度的灵活性、精确的对准和出色的工艺控制。其用户友好的界面和性能数据审查功能使其成为任何要求光刻应用中最高标准的设施的理想选择。
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