二手 SEMITOOL SRD-8300S #9272599 待售

SEMITOOL SRD-8300S是为超细微设备量产而设计的光刻设备。它是一种先进、高效、可靠的晶片加工系统。它有一个综合的溷合设计，有一个单翻转开孔，用于抗蚀剂加工，烤盘，加热板，喷嘴，预旋/预烤单元，以及一个湿板凳。SRD-8300S利用晶圆下加工盒式磁带确保晶圆和基板在整个加工过程中的正确对齐。它是由一个强大的空气轴承马达和真空主轴安全对准驱动。该单元还配备了自动化晶片处理机和机械臂，方便晶片装卸。SEMITOOL SRD-8300S采用了清洁、均匀、精确的光刻应用新技术。它有一个新的5英寸石英涂层窗口，低缺陷喷雾模式和一个新的微细图像透镜与可选端口的空气雾化干燥颗粒。它具有可供用户选择的进程自定义运行框架选项,其他功能包括手动/自动模式开关和自我诊断工具。资产还包含一个强大的控制器，用于监控温度和条件，以确保过程中的均匀性和可重复性。它具有关键参数的实时显示以及用于与PC或其他专有自动化设备联网的标准RS-232串行端口。它还具有独特的双方向喷嘴，可实现精确、均匀的喷射。SRD-8300S是一种可靠、高效的先进晶片加工光敏模型。凭借其高性能的空气轴承电机、石英涂层窗和微细图像透镜，提供了无与伦比的均匀性和重复性。此外，其自动晶圆处理和控制器监测温度和条件的均匀性在过程中。此外，它是用户选择的运行框架选项，使设备成为光刻应用和超细微设备批量生产的理想选择。