二手 SEMITOOL SRD-8300S #9289497 待售

SEMITOOL SRD-8300S是一种光刻加工设备,专为最高的生产率和性能而设计,使其成为生产过程中的理想工具。它利用自旋-漂洗-干燥（SRD）工艺，在硅片或玻璃等基板上应用和去除光致抗蚀剂，以便在基板上蚀刻所需的图样。SRD-8300S包括喷雾模块和旋转式烘干机模块。喷雾模组使用高压空气在所需的基板上涂抹一层薄薄的光刻胶。然后使用自旋干燥器模块将光刻胶均匀地分布在整个表面上并除去多余的。自旋干燥机可以以高达300 rpm的速度运行，允许快速可靠的光刻胶应用和去除。SEMITOOL SRD-8300S还具有全自动的过程控制系统,允许精确和可重复的处理。该装置能够控制光刻胶的应用和去除过程，以及基板清洗过程。此外,该机器还包含多个安全联锁,可帮助确保在运行工具时达到最高安全级别。SRD-8300S还具有多种基于工作流的配方,允许操作员通过几个简单的步骤为每个进程选择所需的应用程序或删除方法。资产还可以通过各种输入/输出接口与其他设备连接,包括RS-232、以太网和USB。这样就可以轻松集成到现有的生产过程中。总体而言，SEMITOOL SRD-8300S是一种先进和可靠的光刻胶处理模型，它提供了精确和可重复的工艺以及生产工艺的最大正常运行时间。凭借其自动化的控制系统、多种基于工作流的配方以及广泛的输入/输出接口,SRD-8300S对于那些寻求经济高效光刻胶处理解决方桉的人来说是一个绝佳的选择。