二手 SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML #9279229 待售

SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML光刻设备是一种先进的晶片处理系统，旨在满足先进芯片制造的需要。该单元的心脏是专有的SRD-840S-1-1-E-ML室，其设计目的是提供从芯片到芯片以及从模具到模具的光致抗蚀剂分配和阵列的均匀性。机器允许用户以精确和可重复性快速处理晶片。该工具可随时容纳多达八个并发进程，用于湿式光刻胶分配和阵列设计。它还有一个流程控制器，允许用户根据需要添加和减去流程。该资产还具有高分辨率成像子系统，能够快速准确地确定每批晶片的图样和均匀性。SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML具有独特的更高机柜温度控制范围，有助于减少光刻剂烘烤时间并保持出色的图样精度。该模型还配备了液位检测设备，有助于防止污染并使用户能够跟踪溶剂的使用情况。它还包括创新的技术，如iMAP（综合运动精度原理），在操作过程中协助保持严格的精度和消除振动。这种光刻胶系统进一步利用ILS（Intelligent Laser Source）来提供高速的写入过程、尖锐边缘且无覆层误差的确定性图样，以及一个扩展的配方和图样库。该单元还带有内置的清洁室运动控制和事件控制,有助于减少操作员在清洁室的维护时间和时间。此外，SRD-840S-1-1-E-ML还包括经过验证的真空技术和化学管理系统，这两种技术都增加了正常运行时间，同时降低了运营成本。SEMITOOL SRD-840S-1-1-E-ML Photoresist Machine旨在帮助芯片制造操作员减少加工时间、提高光刻胶图样精度和缩短循环时间。该工具的高性能特性和功能已成为当今先进芯片制造市场半导体加工的重要组成部分。