二手 SEMITOOL SRD 880 #9248598 待售

SEMITOOL SRD 880光刻设备是一个完整的集成光刻系统，设计用于高级半导体器件处理过程控制。该单元的设计和制造是为了满足半导体光敏处理中对精度、可重复性和可靠性的最严格要求。该机包括一个独特的，两门，卷入设计提供方便进入室内维护和室内服务的腔室。该工艺室设有一个集成的旋转/喷雾工具、多个隔离阀、一个自动快门控制器、两个水平平衡且无污染的表面以及一个电动负载锁。该资产还具有超级清洁、HEPA过滤的排气模型,以及独立的基于配方的工艺控制器,旨在最大程度地提高产量和吞吐量。光刻胶加工是在SRD 880独特设计的具有集成自旋喷雾特性的卷入式腔室中进行的。这样就可以在一个批次中旋转和喷射多个晶片，而不会影响吞吐量。该腔室还有一个独特的隔离阀设备，有助于保持工艺腔室不受污染。利用两个水平平衡且无污染的表面,系统可确保每个晶片在相同的暴露水平下进行处理。自动快门控制器设计用于精确控制晶圆曝光。它还能够执行精确和可重复的晶圆曝光定时。快门控制器与工艺控制器配合工作，提供高水平的工艺控制和效率。过程控制器是一个基于配方的单元，可以快速准确地编程光刻胶处理。它旨在为每个晶片提供一致的结果，即使环境和加工条件发生变化。过程控制器是完全可编程的，可以设置多个过程和配方。这使得它既能实现高产又能实现高通量。SEMITOOL SRD 880光刻机为先进的光刻工艺提供精确的控制和可靠的性能.以其集成的旋转/喷雾工具、多个隔离阀、自动快门控制器、两个水平平衡且无污染的表面，以及基于配方的工艺控制器；该资产有助于提高半导体器件制造产量，同时降低光刻工艺的成本和时间。