二手 SEMITOOL SRD 880F #9192489 待售
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SEMITOOL SRD 885F是一种最先进的光刻设备,旨在处理广泛的应用。它是一个高度通用的系统,非常适合在工业、消费者和研究环境中进行清洁、涂层和图像处理。该单元结合了高质量、精密的工程与先进的编程和自动化功能,允许对工艺参数进行精密控制。SEMITOOL SRD 880F具有一个大容量的双晶圆进给转塔,每次运行最多可容纳80个晶圆。它有四个单独的螺线管阀门和一个工艺气体面板,可以更精确地控制涂层过程。使用自动化的前门,可以快速轻松地从前端或侧面访问机器。SEMITOOL SRD 885F有一个小容量的工艺室,旨在优化效率和最大限度地减少有害排放。它还采用自动湿洗工艺,总共有三个冲洗浴池,以便进行温和有效的清洁。它利用Spin和Spray涂层来获得最佳涂层效果,甚至跟踪模具温度,以确保涂层性能不会随时间下降。SRD 880F配备了高度精确的曝光头,可处理高度高级的多模式曝光。集成的模式生成器工具可轻松创建和执行复杂的模式几何,而图像数据库服务器则以有组织的格式存储所有与图像相关的数据,以便于访问。SEMITOOL SRD通过优化流程来缩短周期时间和提高资源利用率,880F与同类产品中的任何资产相媲美。它的多功能性、强大的设计和先进的自动化功能使其成为任何工业、消费者或研究环境的有吸引力的解决方桉。
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