二手 SEMITOOL SRD-880S #9287266 待售

SEMITOOL SRD-880S是为晶圆处理应用而设计的先进光刻设备。该系统包括一个高精度步进器、一个湿站、两个微调器、一个激光对准单元和一个UV热板。步进器具有6.5英寸的工作阶段,能够转换为8英寸的工作阶段。这样可以使晶片尺寸达到300 mm,并且能够对晶片进行高精度对准,以用于低电流和高电流应用。该湿水站有两个高架水箱，可装入二次电离水、二次电离水或纯净水。此外，还有一个排水管，便于清理和处置危险液体。机器上的两个旋转器配置为提供快速高效的光刻处理。水平纺纱机设有抗腐蚀室，用于光刻和干法化学，并使用高达600 psi的自旋速度，以更快的吞吐量。垂直纺纱机有两个真空室，可用于光刻和干燥工艺应用。两个旋转器还具有可调的后缘对准,以提高精度。SRD-880S上的激光对准工具用于涂层和蚀刻前的精确对准。该单元具有高精度的对准激光器、用于不同尺寸晶片的场停止转塔，以及一系列可调整的激光波长，以更好地匹配所使用的特定光刻胶。最后，该资产包括一个UV热板，该热板提供高强度的远紫外辐射，用于光致抗蚀剂的快速固化。这种紫外线热板可调0.37瓦至1.2瓦/平方厘米，以适应各种各样的光刻胶配方。此外,UV热板还设计用于在操作过程中保持温度均匀性。总体而言，SEMITOOL SRD-880S是一种提供高精度对准、快速旋转速率和均匀紫外线固化的综合光刻胶模型。该设备非常适合晶圆加工在低电流和高电流制造操作中的应用。