二手 SEMITOOL SRD #9198117 待售

SEMITOOL SRD是为半导体晶圆处理应用提供高分辨率测试模式而设计的光阻设备。它非常适合研究和开发新兴应用,如3D互连和MEMS设备。SRD系统可以处理多达8英寸（200毫米）的晶片，并结合了高分辨率投影光刻单元、晶片级、冷热板、抗旋涂层/干燥、晶片加热/冷却以及在线计量工具。该机基于先进的投影光学器件和电动XY级进行晶圆曝光。投影光学器件具有可调透镜工具，可以调整以提供近似和投影光刻的高分辨率图样。光学器件能够产生分辨率低至0.4微米的曝光模式。SEMITOOL SRD资产中包含一个阻抗旋转涂层/干燥机模块。它能够纺制光敏溶液等化学物质，干燥晶片表面，使晶片准备曝光。集成的晶圆加热/冷却模型允许在曝光期间精确控制晶圆的温度。SRD设备还包括先进的在线计量工具，用于监测流程和确保高分辨率模式。计量工具使用光学成像、激光干涉测量和共焦显微镜来测量和分析光刻过程中的曝光模式。这些工具能够更好地控制过程,并有助于确保SEMITOOL SRD系统的最高性能。总体而言，SRD是一种通用的高分辨率光刻设备，适用于各种半导体晶圆加工应用。其投影光学、抗旋涂料/烘干机、温控机和直列式计量工具都有助于其高精度地制作出细节图桉。