二手 SEMITOOL SRD #9213261 待售

SEMITOOL SRD是一种光刻设备,主要用于半导体测试、制造和维修。它对集成电路基板上的厚、薄光刻膜进行精密、高速的处理。该系统可用于半导体工艺的广泛应用，包括制图、蚀刻、沉积、光刻和电子束书写。SRD是一种四轴设计的全自动单元，包括晶圆升降机、锁载室、旋转底座和次级室。该机设有多位湿化工艺站，以优化光刻工艺结果。它配有可选的高分辨率高速摄像机,可用于检查和调整图桉位置和尺寸。SEMITOOL SRD的锁载室在一种机器人工具中工作，该工具可以快速传输晶片而不会受到不良的空气污染。升降机平台可容纳多达五十个晶片，并有一系列单面或双面图桉的选项。此外,SRD还配备了板载冷却设备（最多100kPa个）,以统一冷却晶圆表面。即使具有较大的特征大小,这也保证了可重现的特征。SEMITOOL SRD的模型加工室采用不锈钢制成，具有极好的重复性和重复性。其大型内饰设计，内部高度500毫米，能够容纳各种尺寸的晶圆级。其真空压力可调低至0.0005毫巴。SRD还拥有一个标准晶圆旋转站，转速高达100 RPM。此外，SEMITOOL SRD还包括一个多位置湿法化工站，这对于执行湿法蚀刻和干法蚀刻等平版印刷工艺至关重要。该单元包括用于加热和冷却工艺模块的集成RT再循环设备。它还包括淋浴头、等离子体蚀刻、溅射沉积模块和其他清洁实验室等几个附加组件。最新版本的SRD是一个现代化的半导体晶圆工艺系统，将精度和效用结合在一个封装中。它被设计为使用高强度的紫外线光源，高分辨率的样品成像单元，一个全面的选择过程模块和访问大多数过程化学。该机器功能强大,每小时可处理数千个晶圆并安全存储数据,从而使用户能够简化工作流程。