二手 SEMITOOL SRD #9292696 待售

SEMITOOL SRD是一种光刻设备，用于包括晶圆、磁盘和其他平板电子产品在内的基板的化学机械抛光或化学机械平面化（CMP）。它是一个具有集成处理功能的紧凑系统，包括一个加工室、抛光垫和抛光盘。该单元可以加工多种材料，如硅、砷化氙、碳化硅、聚酰亚胺。SRD有一个自动化的晶圆处理机，具有基于配方的编程允许高度的过程控制。它设计用于处理范围从8到300 mm的晶圆尺寸，可调的工艺室高度从4"到45"。SEMITOOL SRD有两个主要组成部分：多磁盘机制（MDM）和平面化过程室（PPC）。MDM利用速度可调的多磁盘组件在基板上执行抛光过程。这包括嵌入金刚石的柔性抛光垫，以及旨在提高工艺性能的各种化学材料。PPC是抛光操作发生的区域。它包括一个工艺室，盖子，和预和后抛光冲洗系统。此外，它还提供了包括流速、温度、泥浆速度、压力等过程参数的精确控制。SRD的主要特点是它的变速抛光，这使得抛光工艺可以针对各种各样的底物和化学物质进行优化。SEMITOOL SRD还具有维护清洁抛光环境的手动清洗功能和用于日常维护的晶圆清洗工具。资产可以通过分布式控制模型进行远程操作，从而可以远程跟踪和监视流程流程和进度。SRD由于其工艺灵活性和先进的工艺异常实时性而成为CMP行业的热门选择。该设备设计为防止缺陷，提供高度的统一性和控制性，确保产品质量一致。SEMITOOL SRD是寻找具有可靠性能和灵活工艺能力的化学机械抛光系统的人的绝佳选择。