二手 SEMITOOL SRD #9292751 待售

SEMITOOL SRD（Spin Rinse Dryer）是一种自动化晶圆处理设备，用于去除和更换光刻胶。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于制造半导体器件，通常在光刻之后。SRD系统旨在提高工艺效率和产量,同时减少加工和循环时间.SEMITOOL SRD单元由四个不同的部分组成：自旋冲洗站、烘干机站、光致抗蚀剂站和基板分期站。自旋冲洗站将晶片置于自旋浴中，搅拌以除去光致抗蚀剂。烘干机站采用热气相结合的方式，快速安全地清除晶圆表面残留的液体。光刻胶站用于下一个工艺步骤应用新鲜的光刻胶。最后，基板分期站是一个封闭的环境，用于在过程中标记、转移和储存基板。SRD机具有高度的可调性和适应性，能够处理不同的基材尺寸和类型，包括硅和砷。此外,SEMITOOL SRD工具被设计为集成到工厂中的其他系统中,从而允许组件尽可能高效地在整个制造过程中移动。整个过程的自动化，包括自旋冲洗操作和烘干机，使得在过程中快速移动晶片成为可能，同时仍能提供高质量的结果。SRD资产易于使用,并提供多种功能来自定义流程。例如,SEMITOOL SRD可以针对特定的产品要求和工艺设置（如晶圆直径、速度、旋转角度、喷雾类型等）进行定制,从而使用户能够针对其特定应用优化工艺。SRD的自动化还降低了操作员参与的要求，使模型能够与工厂中的其他系统集成。总之，SEMITOOL SRD是一种通用、自动化的光刻设备，旨在提高工艺效率和产量，同时减少周期和工艺时间。它提供了一系列功能,使用户能够为其特定应用程序自定义流程,并且可以轻松集成到现有晶圆处理系统中。