二手 SEMITOOL SST-202A #9265775 待售

SEMITOOL SST-202A是为光刻应用中的精密图样设计的光刻设备。该系统提供了广泛的工艺解决方桉，允许各种基板的高效和准确的阵列。SST-202A包括用于在高保真度基板上生产结构的光刻轨迹、用于功率控制的自动单元控制器（ASC）和用于精确应用光致抗蚀剂的旋转涂层。SEMITOOL SST-202A还包括一个可选的等离子体灰光机、曝光单元和升空单元，以进一步控制阵列制作过程。SST-202A能够加工直径不超过8英寸的固体基板,以及MEMS、OLED、III-V化合物和电源设备等稀薄基板。该机采用薄膜厚度监测器，以确保在旋转涂层过程中均匀的光敏涂层。然后将光致抗蚀剂暴露在紫外线下进行图样化。SEMITOOL SST-202A的ASC具有实时控制过程的高级功能。它有一个跟踪流程参数的数据记录工具，以及最大效率的分步指令。ASC还允许对各种光刻胶和底物的曝光能量进行自动校准。可选的等离子体粉碎器可以有效地从图样化的基材中去除光致抗蚀剂残留物和其他污染物。Asher使用射频源在真空室内创建等离子体，从而在基板上形成均匀的蚀刻轮廓。可选的紫外线曝光装置提供了在基板上精确曝光图样的功能。该单元有一个变频灯，提供10毫秒到10秒的可调曝光时间。可选的升降单元可用于在图样完成后从基板上去除光刻胶。使用带惰性气体供应的加热板，以最小程度地损坏基板，将光刻胶从光刻胶中取出。总体而言，SST-202A光刻资产为各种基板的光刻加工提供了一个平台，具有很高的精度和可重复性。该模型配备了先进的功能，以确保为各种应用提供高效和精确的基板图样。