二手 SEMITOOL SST 2061D #142241 待售

SEMITOOL SST 2061D是一种光刻设备,旨在帮助用户利用其实施的光刻工艺。它是一个紧凑、坚固和用户友好的系统，适用于各种晶圆尺寸和工艺，以满足先进的微加工光刻要求。该装置采用专利设计，确保各种复杂基板的加工准确高效。它还支持多抵抗集成,为用户提供更大的灵活性和更广泛的流程窗口。该机具有较高的边缘清晰度,同时减少残留和颗粒形成.SST 2061D的最大腔室容积为363升，可容纳200毫米晶圆。配备配发工具、光源、温度控制器。关键部件Pattern Generator装在光学腔内，能够以高达1600 RPM的速度旋转晶片。晶圆加载到多级Ultima Gold级，然后暴露在光源下。低失真的Lambda函数发生器和光致抗蚀剂分配资产然后协同工作，产生精确定义的模式。该模型旨在通过其开放式腔室设计、CleanPlus Technology过滤设备和稳定的基板温度，由集成冷却器控制，为用户提供改进的光刻胶工艺性能。该系统还具有基于清洁室的计算机控制器和图形用户界面（GUI）。SEMITOOL SST 2061D适用于从简单到复杂的各种光刻过程。它提供了先进的技术，以创建更好的边缘清晰度，更好的场边界控制和缩小特征尺寸，所有的低粒子形成。它还能够进行低温处理以增强材料兼容性。总体而言,SST 2061D是一个先进的光刻装置,它集成了最新技术以提供卓越的工艺性能。它具有高性能设计、易于使用的界面和耐用的结构,是帮助实现理想光刻效果的强大工具。