二手 SEMITOOL SST 305MI #9165782 待售

SEMITOOL SST 305MI光刻系统（PRS）是开发高质量、高精度微电子器件的强大而可靠的平台。这种光致抗蚀剂设备被设计为一种经济、全面服务的处理解决方桉，能够实现从蒸发前/光刻到蚀刻后/批准的过程。SST 305MI是具有超低温能力的大容量批处理室。它具有50升的腔室体积，可以加工尺寸达325mm的基板。它可以与多种原位处理能力一起使用，如等离子体蚀刻、冷凝/蒸发或溅射沉积。利用这些先进的工具，SEMITOOL SST 305MI提供了一种全面、低真空、高产量的光刻胶工艺。SST 305MI还具有一个获得专利的用户界面,它对工艺的各个方面提供了强大的控制,包括基材尺寸、光刻胶类型和涂层参数。这个功能强大的系统允许用户自定义光刻胶工艺序列和参数，以满足每个特定设备的精确处理要求。SEMITOOL SST 305 MI的硬件还设计用于最大程度的可管理性,具有用户友好的数据输入/输出和自动化的过程控制单元。该机还配备了一台用于远程监控的OPC服务器，提供了对流程的严密实时控制。SST 305 MI的软件为用户提供了从PRS中获得最大收益所需的一切。它允许用户设置和保存流程序列和参数，还包括分析和后流程选项。该工具还具有全面的OPC Server,可用于创建具有流程分析、警报通知和数据采集等功能的应用程序。SEMITOOL SST 305MI能够快速高效地生产高产量、高精度和重复性的微电子器件。适用于多种应用，包括后端线处理、阵列处理和晶圆级封装。SST 305MI是一种强大的光刻资产,易于使用,提供可靠、经济高效的结果。