二手 SEMITOOL SST 421-280 #293657531 待售

製造商
SEMITOOL
模型
SST 421-280
ID: 293657531
晶圆大小: 8"
Spray solvent system, 8" Rotor Chamber Compressed air Controller Valves Sensors Tubes Pipes Process chamber Tanks (2) Heated tanks (EKC, NMP or similar) (2) Unheated tanks (IPA or similar) (4) Trebor pumps Rotor, 8" Bolt quick disconnect Carrier, P/N: A192-81M-0215 Power supply: 400 V.
SEMITOOL SST 421-280是一种用于从半导体晶圆中剥离光阻的全自动光刻带设备。它具有创新技术,先进的机械处理系统,并且适合广泛的光刻带工艺。该系统旨在提高吞吐量,减少循环时间,生产出优越的光刻胶带。SEMITOOL SST-421-280配备了高性能的X-Y-Z传输头,可以在其工作区内快速高效地移动。这种先进的机器人臂能够选择、抓取和放置不同的光刻晶片进行加工到生产线上。该单元还利用了一个短期内存-映射机器,能够存储从角度位置精确旋转基板到平面所需的特定数据。SST 421-280拥有强大的加热工具,最高温度为280 °C,可提供各种半导体材料的精确而均匀的光刻带工艺。它还具有增强的流体管理资产,旨在在整个条带序列中有效地管理剥离机解决方桉,帮助保持最佳的条带速率并提高产量。该模型还包括一个精确的压力控制机制,这有助于保持晶圆和抗蚀剂之间的适当接触的一致条带。还提供了可选的Autoprofiler选项,可帮助监控条带均匀性并根据需要进行实时调整。最后,SST-421-280提供了一个直观的用户界面,允许用户从一个中央控制台轻松访问、配置和监视其进程。该设备还包括若干诊断工具,使用户能够跟踪光刻胶条的进展情况。总体而言,SEMITOOL SST 421-280是一种先进的光刻带系统,旨在提供统一可靠的结果。其用户友好的界面、强大的加热能力和精确的控制系统,使其成为工业半导体生产环境的理想选择。
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