二手 SEMITOOL SST 421-280 #293734246 待售

SEMITOOL SST 421-280是一种光阻处理设备，设计用于支持所有用于集成电路制造的湿处理任务。该系统提供了广泛的基材材料，包括硅晶片、砷化氙和硅芯片。以低温补偿为主要特点，实现了电位恒定控制、低功率处理。SEMITOOL SST-421-280为微芯片组件系统的精确光刻处理提供了一系列功能。它有几个精密湿式站，包括预处理、后处理冲洗和后滚筒。它还具有集成的可编程旋转速度控制和基板加热机.该工具具有灵活的标准工艺配置，最多有二十四个基板负载站，有两种不同的载波尺寸。该资产具有直观的触摸屏控制模型，能够存储多达128个配方，并且可以运行多达16个单独的光刻过程。SST 421-280还具有反渗透（RO）功能,为所有湿法过程提供纯净水。它配有安全关机设备，在温度或化学流量不规则的情况下自动关闭加工线。它配备了可选的He2O3O2气体溷合系统，以获得更高质量的加工结果。该装置设计具有多种安全功能，包括广泛的警报和安全联锁。它配备了方便的访问、分隔和部分封闭的实验室框架，具有优越的人体工程学，以舒适的操作。该机还设有可堆迭干燥站，以提高基材密度，从而提高线路运行效率。SST-421-280的设计符合微电子处理的过程控制标准和条例。它通过使用一个集成了可堆叠的HEPA过滤器和洗涤系统的排气工具，符合所有相关的污染控制规定。该资产还提供在线跟踪和监控每个流程参数以实现完整的流程控制。总体而言，SEMITOOL SST 421-280是微芯片光刻加工的绝佳选择。它具有高效、精确和可靠的处理所需的所有功能。是微电子生产试验的理想选择。