二手 SEMITOOL SST 421-280 #9351561 待售

SEMITOOL SST 421-280是半导体工业中用于微加工工艺的光刻设备。它是一个全自动的湿式工作台系统，结合了较短的工艺周期时间和较高的工艺质量保证以及最小的操作员输入。这个单元适合于加工直径达8英寸的晶片，并且包含一个从硅到硬化金属的单个盒式到盒式基板级，用于处理一系列的基板。SEMITOOL SST-421-280有八种用于开发人员、蚀刻剂、中和剂和去除剂等工艺的试剂。它采用基于模块化的机器控制器设计，允许设置和过程参数快速变化。该工具还能够与自旋漂洗干燥和等离子体加工等其他工艺相结合。此外,资产还提供了一整套诊断程序,例如温度和周期计数监控。SST 421-280配备了自动端点检测模型（EPD）,可实现精确的化学过程控制。该设备结合了热级和光检测器的优点，实时监测晶片的表面电阻率。此外,系统还提供了一个光学数据记录器,该记录器记录循环日志和参数,以实现进程的可追踪性。最后，该装置还配备了一个输送机，既提供单晶片负载，又提供卸载能力以及批量装载能力。输送机还允许在蚀刻和灰化工艺之前对晶片进行非常精确的定位，以确保尽可能高的产量。SST-421-280是一种先进的光刻机床，旨在为半导体行业的广泛应用提供高工艺质量的保证和灵活性。借助自动端点检测工具、输送机和全套诊断程序,该资产实现了精确且经济高效的制造过程。