二手 SEMITOOL SST 421 #293646950 待售

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製造商
SEMITOOL
模型
SST 421
ID: 293646950
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2004
Spray solvent system, 6"-8" 2004 vintage.
SEMITOOL SST 421是一种可靠的干蚀刻设备,能够蚀刻各种不同的材料,包括金属和聚合物材料,以及光致抗蚀剂。该系统专为蚀刻光刻胶精密层而设计,对蚀刻工艺有极好的控制。SEMITOOL SST-421利用强大且可控制的等离子体源来产生蚀刻效果。为了实现精确的层蚀刻,将光刻胶放置在基材之上,在光刻胶和基材之间产生放电。这种带电放电与光刻胶相互作用,使其以高精度和精确度蚀刻。SST 421配备了控制严密的处理室和过程控制软件,使用户能够达到尽可能高的蚀刻精度和精确度。此外,该单元还具有基于时间和基于射频的蚀刻功能,从而可以进一步控制蚀刻过程。SST-421还包括一台先进的负载锁定机,以及专门设计的能够在高重复性和准确性水平上进行蚀刻的工艺持有人。这样可以确保每个零件都是均匀且彼此一致的,从而创建精确但均匀的蚀刻层。它还提供了与其他系统和硬件的轻松集成,使用户可以精确地蚀刻各种不同的材料。SEMITOOL SST 421是任何涉及光刻剂的蚀刻任务的理想工具,提供对过程的精确控制。该资产为用户提供了一种可靠可靠的蚀刻模型,能够以高精度蚀刻各种材料,从而获得优异的蚀刻效果。
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