二手 SEMITOOL SST 421 #293765930 待售

SEMITOOL SST 421是为在现代半导体制造中实现高精度而设计的光刻设备。该系统能够以最高的精度、速度和表面平坦度处理各种塑料和金属元件。SEMITOOL SST-421是一个功能齐全的单元,将高级自动化与复杂的过程控制相结合。它具有许多独特的功能,使其与其他系统区分开来。例如,专有的Process Intelligence Machine （PIS）允许工具即时监视和调整流程参数,以确保获得最佳结果。此外,该资产还包括高度通用的多任务工具（MTT）,它允许在一个周期内执行多个进程。该模型还利用了先进的光学和机器人技术。其光学传感设备提供高度和轮廓的精确非接触测量，保证精度± 10nm，可重复性± 1.5nm。精密机器人速度快、精度高，能够以最高± 1 µm的精度和高达200 pps的工艺频率加工元件。SST 421专为易于集成和快速设置而设计。直观的软件允许系统的平稳控制和版本，以及简单的数据记录和程序更改。此外,该单元还设计用于多功能操作,具有一系列进纸器和模块化组件。这种特性的组合使得它适合多过程应用。总之，SST-421是一种高度先进的光刻机床，在现代半导体制造中提供了无与伦比的精度、速度和表面平整度。其先进的自动化和过程控制特性，加上灵活的设计，使其能够以最高的精度和效率处理元件。