二手 SEMITOOL SST 421 #9229861 待售

SEMITOOL SST 421是一款由SEMITOOL制造的光阻设备，是在半导体器件制造中高效制备用于光学光刻等步骤的基板的理想解决方桉。该系统采用四站单机柜配置,允许同时处理四个6"、8"和12"圆形晶片以提高吞吐量。系统的模块化设计允许集成SEMITOOL Triline/Pilot Resist Filtration Unit（RF-0320）和Triline/Pilot Dispensing Machine（DPT-0320）。此外,SEMITOOL SST-421为用户提供了广泛的开发前和开发后烘焙选项以及工艺配方功能。SST 421采用符合人体工程学的设计,包括手动机械部件和自动移动部件,可实现精确且可重复的浴室几何形状。SEMITOOL Accudepth Technology精确的仪表可抵抗浓度和温度,以确保在多个项目中均匀的薄膜厚度和可重复性。该工具还具有集成的抗风温控制资产和集成的循环加热器,可提供一致的抗风温数据和可重复性。SST-421为用户提供了多种功能,包括16英寸最大基板尺寸、单涂层台阶和不更换物理面罩的重复、多种开发选项（如传统的手动开发油箱和四口袋油箱）,这两种产品都是为实现最大效率而设计的,以及可变的切口宽度和可调节的剥离周期。该型号还具有自动诊断功能,可帮助消除手动维护的需要。SEMITOOL SST 421为用户提供了许多好处,例如其独特的设计旨在节省操作员时间,以及它与一系列抗蚀剂的兼容性。该设备具有广泛的预、后烘焙操作以及对耐热温度和浓度的精确控制等特点，具有最大的工艺灵活性，具有优异的可重复性和性能。此外,SEMITOOL SST-421还配备了手动机械部件和自动移动部件,以帮助减少化学品消耗。因此,此系统非常适合各种流程,从小批量实施到大批量实施。