二手 SEMITOOL SST 421 #9292694 待售

SEMITOOL SST 421光刻系统是一种通用可靠的工具，用于各种半导体制造任务。它能够涂覆基板，聚合光致抗蚀剂，条纹光致抗蚀剂，蚀刻基板。该机由脱离电离水控制、抗涂层和抗性条带模块、光刻胶和离子铣削模块以及热氧化烤箱组成。去离子化水控制模块设有两个蓄水池和水泵，设计用于输送精确数量的去离子化水。水被用来冲洗底物，以及在其他操作，使其成为系统的组成部分。抗蚀性涂层和抗蚀性条带模块设计用于在基板上提供精确的涂层溶液,包括光致抗蚀剂。光致抗蚀剂和离子铣削模块分别用于聚合光致抗蚀剂和蚀刻基板。它们都可以针对各种进程和几何进行配置。热氧化炉允许在基板上进行几个氧化过程。它还拥有可调节的温度设置和快速加热元件，使用户能够在一个周期内完成多个氧化步骤。总体而言,SEMITOOL SST-421为各种半导体制造任务提供了灵活性和精确度。底物可以用去离子水冲洗，然后涂上光刻胶，纺成预定厚度。然后可以将光刻胶聚合在光刻胶和离子铣削模组中，蚀刻成所需的形状。最后，基材可以在烤箱中进行氧化加工。这允许用户在一个周期内完成复杂的半导体制造过程。此外，它的灵活性意味着它可以适应各种工艺和几何形状，使其成为一种可靠且成本效益高的半导体生产工具。