二手 SEMITOOL SST 421 #9379925 待售

SEMITOOL SST 421是为了在半导体晶圆上製造集成电路而设计的光阻剂批处理设备。它针对高级内存、逻辑和其他复杂IC技术中使用的过程进行了优化。SEMITOOL SST-421旨在提高设备产量、缩短周期时间和实现自动化配置。它使用专有的Ultra Process Technology-UpTech™、高级算法、集成过程模块和快速更改吞吐量功能的组合。这些使工具能够在缩短周期时间的情况下实现更高的吞吐量。SST 421由集成的模块化平台组成。四大部件分别是集成化学输送系统、热传递室、基板定位单元和车载控制器。综合化学输送机由四个独立控制的空调化学罐组成，连接到一个泵床。可供SST-421的化学罐体配置可为每个独特的工艺定制。该资产包括提供不同化学物质所必需的多种泵和过滤器，如光致抗蚀剂、显影剂和蚀刻剂。热传递室的设计是为了提供整个晶圆表面过程温度的均匀性。该室采用内置的加热器和风扇模型，可根据工艺要求进行调整。基板定位设备是一个晶圆处理单元，有五个可单独控制的运动轴。这样可以在过程中对基板进行精确的对准和定位。该系统还包括一个机械臂，用于在化学罐之间拾取和转移底物。板载控制器是为工具构建的自定义控制器，为用户提供直观的用户界面。此控制器允许用户编程和修改配方。控制器还可以监控实时流程参数。控制器可以通过网络链接以启用远程控制。SEMITOOL SST 421是一个创新的光阻处理单元，设计用于高容量、高精度生产半导体器件。它结合了高级算法、集成过程模块和快速更改吞吐量功能,以提高吞吐量和缩短周期时间。它的模块化体系结构提供了可配置性,而其板载控制器则确保了直观、可治愈的操作。