二手 SEMITOOL SST 421 #9392447 待售

SEMITOOL SST 421是一种光刻设备，用于半导体工业中的先进制图工艺。它是一个全自动系统，在许多最具挑战性的抵抗过程中为用户提供一致和可重复的结果。该单元分为旋转涂层和热板两个阶段。自旋涂层利用强制气流机在较大的晶圆表面上增强光刻胶自旋涂层的均匀性。这确保了基板上可重复、高质量的光刻图样。自旋涂层也有温度控制涂层多抗蚀剂类型。热板阶段包括一个较大的加热区，用于高通量的基板均匀加热。这种均匀加热提高了临界尺寸和边缘放置精度。该工具的设计也非常方便。机动化基板级允许工具内运输和基板处理的顺畅。它还有一个机器人化工具，便于加载和卸载晶圆。此外，该资产的触摸屏控制器为简单的设置和操作提供了用户友好的编程和控制。SEMITOOL SST-421有一个板载晶圆级计量室，可以监测层厚度和其他参数。这样可以确保高质量的阵列设计结果,以及简化过程控制和优化。该模型还提供远程监视和控制功能,使用户可以灵活地从任何位置操作和访问该工具。总体而言,SST 421是一种高性能的光刻设备,可为用户提供快速可靠的结果,使其成为半导体制造中高级制图工艺的绝佳选择。