二手 SEMITOOL SST-614-AG #9043971 待售

SEMITOOL SST-614-AG是为晶圆处理应用而设计的光刻设备。它是一个专门设计用于在硅片上应用和开发光敏溶液的"独立"单元。该仪器的核心部件是晶圆转运站、自旋喷雾轨道、清浴轨道、自旋喷雾器和Allmighty轨道。晶圆转运站允许操作员手动从系统加载或卸载单个晶圆。该转运站允许对晶片的方向进行垂直和水平调整。Spin Spray Track的设计允许将光刻胶溶液精确的旋转分配到晶圆上。这样就形成了光刻胶的均匀涂层，在晶片上产生了均匀的轮廓。Clear Bath Track由一个装有水性或非水性显影剂溶液的容器组成，用作洗涤站。浴道内的喷雾器喷涂器可确保显影剂溶液在晶片上均匀分布,从而实现更高效的照片显影。Spin Spray track也可以与Clear Bath Track配合使用，在晶圆上创建一个均匀的光刻胶轮廓。最后，Allmighty轨道负责从机组内的自旋喷雾中积聚抗蚀剂残留物，并将其处置以清洗机组外的水箱。它是一种滤波器，容量也高达十二个Standard 200 mm晶圆。总之，SST-614-AG是在硅片上开发光刻胶溶液的完整光刻胶加工工具。它配备了晶圆转运站、自旋喷雾轨道、清浴轨道、自旋喷雾器和Allmighty轨道等多项功能，以确保统一高效的处理。这种光致抗蚀剂资产可以提高生产速率，确保光致抗蚀剂加工应用的最佳效果。