二手 SEMITOOL SST-642 #293587516 待售
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ID: 293587516
晶圆大小: 8"
Spray solvent tool, 8"
Class 1
SEMITOOL 302 Controller
Batch solvent processor
(2) Chambers
(6) Stainless tanks (4 Heated and 2 ambient)
(2) Rotors
Front touch screen
Operators manual included.
SEMITOOL SST-642 Photoresist Equipment是为处理光刻胶而设计的最先进的系统。它被用于生产电路板和其他精密的应用中,在这些应用中需要极小和详细的特性。该装置利用真空扩散泵来产生低水平的压力和温度,同时保持必要的清洁水平。真空扩散泵能在光致抗蚀剂工艺的不同阶段保持加工室内的一致温度和压力梯度,从而即使环境温度或湿度的变化也能提供一致的输出。SST-642还包括一台高度精确的高分辨率步进电机,可直接控制基板的旋转速度,以及在机器运行期间直接控制基板的加热和冷却。步进电机在处理光刻胶时允许极高的精度和精确度。步进电机还允许基板在腔内上下移动,甚至在整个腔内进行加工。SEMITOOL SST-642还配备了一个泵出工具,用于从加工室内清除受污染的液体。这一资产利用高效过滤模型,从正在加工的液体中清除微粒,防止污染进入和破坏基质。这也有助于在室内保持一致的清洁度,而不管正在加工的基板是什么,也不考虑正在完成的过程的复杂性。SST-642还包括一个内置的成像和分析设备,以便用户在过程监控过程中能够在任何给定时间分析光刻胶层及其对工件的影响。这一先进的成像和分析系统能够检测可能发生的微小变化,并提醒用户该过程中可能存在的任何违规行为。SEMITOOL SST-642的特点是加工室内衬陶瓷材料,最大限度地减少整个过程中的能量损失。整个设备如果维护得当,在处理要求最苛刻的应用程序的光刻胶方面具有良好的停机时间和高效率的记录。SST-642具有先进的自动化功能,是精密应用的完美解决方桉,要求光刻胶处理具有高精度和一致性。
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