二手 SEMITOOL SST-742-280 #293657532 待售
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ID: 293657532
Spray solvent system
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(4) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(3) Unheated tanks (IPA or similar)
(8) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215.
SEMITOOL SST-742-280是为高精度光刻而设计的光刻加工设备。该系统能够处理高达8英寸的晶片,处理能力从5 um到4 um。它设计用于晶圆表面的超精确成像,这对于创建高密度集成电路至关重要。SST-742-280单元是基于一个倒置光学显微镜机器的光照和精确定位晶片。晶圆通过高精度的掩模暴露在紫外线下。蒙版具有多种精细网格,可用于调整图像的大小和形状。然后使用高强度的紫外线灯将晶片曝光。可以调整光的强度,以提供所需的光致抗蚀剂图像分辨率。SEMITOOL SST-742-280工具包括液晶显示器(LCD)显示器,允许用户实时查看照片蒙版细节。液晶屏显示器还能够显示光刻胶图样的反馈图像以进行质量控制。该资产还包括一个自动对齐单元,确保掩模与晶圆精确排列,以实现精确对齐。SST-742-280配有输送机模型,用于在加工站之间传输晶片。这种设备包括剥离能力,以便对单个晶片进行更有效的处理。它还配备了凹台设计,以提供晶圆和掩模之间更好的接触。SEMITOOL SST-742-280系统是一种高度可靠、灵活的精密光刻工具.它支持曝光后、蚀刻和烘烤后的过程来完成作业。此单元由可编程逻辑控制器和自我优化监视器构建,以确保整个作业过程设置保持不变。此外,这台机器还包括一个温度控制环境,有助于确保光刻胶图像的可重复性。
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