二手 SEMITOOL SST-742 #293653191 待售

SEMITOOL SST-742 Photoresist Equipment是一个最先进的模块化自动化处理系统,旨在确保需要关键位置重迭的应用程序（如MEMS制造和晶圆级封装）具有最高的准确性和可重复性。该单元采用独特的模块化体系结构进行设计,用户可以通过灵活处理压力和时间来配置机器以最大限度地提高吞吐量并满足任何特定流程的需求。此外，其独特的腔室设计和再循环流系统的集成提供了更高的温度均匀性，以确保最高水平的过程可重复性和可重复性。SEMITOOL SST 742 Machine的主要部件包括基板装载和运输工具、工艺室组件、流体输送资产和控制模型。基板装载和运输设备使基板可以简单地装入装载站，然后自动转移到加工室组件内的适当位置。工艺室组件由用户指定的模块组成,这些模块执行各种任务。这些模块配有散热器条，在处理之前将光刻胶均匀地分布在晶片上。流体输送系统旨在提供对分配数量的精确和完整的控制，从而实现准确和可重复的过程。控制单元提供机器和用户之间的界面，允许用户实时设置进程参数和监控结果。SST-742工具的模块化设计和广泛的工艺能力使其适合各种应用,包括MEMS制造、高级封装、光电和DISARRAY晶圆工艺。其较高的温度能力使其能够处理广泛的光敏树脂，包括DSP等级和低电阻率的抗蚀剂。此外，其先进的控制资产可以实现所有参数的自动化和控制，确保准确和可重复的过程。凭借其高度可靠的性能,SST 742已被证明能够提高晶圆吞吐量,并降低成本高昂的返工成本。