二手 SEMITOOL SST-742 #9229862 待售

SEMITOOL SST-742光刻设备是一种专用的大面积光刻涂层，其设计经过优化，可提供高通量、可靠的均匀涂层。光刻胶系统具有专利的双级喷雾技术，可实现卓越的涂层均匀性和沉积控制。集成的温度控制单元进一步确保了整个基板表面以及从基板到基板的一致涂层。这种增强的控制导致了一种可重复和可靠的均匀的光敏涂层。SEMITOOL SST 742的机器由一个主室和四个卫星室组成。主室是一个深、矩形、不锈钢的盒子，由一个高架喷雾室、一个气室和一个加热的室壁组成。独立于主腔室的四个卫星腔室也构成了涂层工具。每个卫星室都与主室气室相连。整个资产由先进的集成控制器进一步控制,允许同时控制温度和工艺参数。SST-742的喷涂工艺包括一种喷涂方法，该方法针对均匀沉积在大基板上进行了优化。一种定制设计的喷枪在喷雾室内操作，用光刻胶溶液自动扫掠基板，同时提供快速响应和精确控制所得均匀性。然后将基材放入加热室中。该腔室有一个变温加热壁，其工作温度在90°C（194 °F）至160°C（320 °F）之间，从而可以优化任何光敏产品的涂层性能。SST 742的控制软件允许设置大范围的工艺参数，如停留时间、温度、氮气流量和气压。还包括一个配方编辑器，它可以方便地设置不同的光刻胶。SEMITOOL SST-742光刻胶模型用途广泛，可以满足金属升降或太阳能电池封装等多种应用要求。