二手 SEMITOOL SST-742 #9356936 待售

SEMITOOL SST-742是一种高效、准确处理半导体基板的光刻设备。该批式平台由溢流冲洗、热DI冲洗、中心载荷、自旋烘干机、履带传递、预烤、对准、自动电子束光刻、后烘烤、开发和履带卸载组成。它旨在提供卓越的流程重复性、广泛的流程功能和用户友好的操作。溢流冲洗可以处理35至200 µm大小的基板，以及板载芯片、探针卡和高度可达20mm的基板。热冲洗冲洗设施只需在95°C的温度下提供一次清洁冲洗水。单头可用于供应最多4个冲洗罐，从而允许灵活选择所需的微粒去除水平。中心载荷设计成将基板保持在适当的位置，而自旋干燥机则清除了DI冲洗后残留在晶片上的任何残留水。轨道传输负责将晶片从中心载荷传输到对齐阶段。在这里，晶片的位置精度保持在25 µm的精度。之后，用预烤涂抹光刻胶，用自动电子束光刻法曝光光刻胶。烘烤后即可完成光致抗蚀剂的应用，而磁道会在晶片在系统中移动时卸载晶片。总体而言，SEMITOOL SST 742是一个全面的光阻装置，提供广泛的工艺能力和可靠的工艺再现性。其符合人体工程学的设计提供了最佳的操作员安全性，而机器的自动化提高了过程吞吐量，并消除了错位的可能性。该工具非常适合工业生产高性能基板和半导体器件。