二手 SEMITOOL SST-C-221-280-P #9400640 待售
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ID: 9400640
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Spray solvent system, 8"
(3) Chambers (2-Heated)
2001 vintage.
SEMITOOL SST-C-221-280-P是专门为集成电路的蚀刻、涂层和开发而设计的精密光刻设备。该系统具有多个组件,可精确控制光刻胶的应用过程。该装置包括一个最先进的SST-C-221-280-P光敏喷雾器、一个用于精确曝光控制的石英灯和一个带有循环喷雾室的自旋处理器。SEMITOOL SST-C-221-280-P光刻胶喷雾器设计用于在预定的流量和压力下输送精确的光刻胶。这是通过使用特定喷雾参数编程的自动控制器完成的。这样可以提供质量最高的更均匀的零件。设计用于SST-C-221-280-P机器的石英灯可精确控制曝光时间和强度。这样可以确保光致抗蚀剂既不会过度曝光,也不会过度曝光。强度和曝光时间可以很容易地调整,以便针对不同的光刻胶配方优化工艺。SEMITOOL SST-C-221-280-P工具中包含的自旋处理器包括提供精确处理速度和温度控制的高级自动控制。在自旋处理器内战略性地安装喷嘴,在基板上喷洒细薄雾,然后在最佳温度下进行处理。处理器的设计最大程度地减少了光刻胶的损失,并为精确和可重复的处理条件提供了动态环境。SST-C-221-280-P光刻资产是蚀刻、涂层和开发集成电路的理想选择。它结合了精确控制的自动化过程以及对暴露和处理的精确控制,提供了可靠和可重复的结果。此外,模型使用不同光刻胶配方的能力确保了它可以在广泛的应用中使用。
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