二手 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238397 待售

SEMITOOL SST-C-321-280是一种设计用于中高批量生产应用的半自动光阻设备。适用于单面或双面加工直径达12英寸的基材。该系统由暴露头、喷雾显影阶段、自旋冲洗阶段、输送机和自旋涂料等几个不同的组成部分组成。曝光头由步进电机、控制电子设备和两级快门单元组成，以确保正负光致抗蚀剂的正确曝光时间。头部配备了手动调节的焦点和强度表盘，能够处理多达12英寸的基板。它由一个175厘米长的机械臂连接到机器上，便于取用和自动基板处理。喷雾显影级是一种多端口喷嘴工具，使用异丙醇（IPA）从基板表面去除未曝光的光致抗蚀剂。它配有一个用于精确控制开发者使用量的PLC，并有一个内置的废物再循环资产。它还装有一个疏散口，以方便开发面板的安全和方便维护。自旋冲洗阶段用于在自旋涂层工艺之前冲洗基材。它有一个专用的控制面板和PLC，以确保精确的冲洗时间和温度与在基板上使用的抗蚀剂类型有关。舞台装有溶剂回收盘，使用IPA进行冲洗循环。输送机便于基板在模型的各个阶段之间移动，并配有专用的陶瓷加热板，以确保在整个光刻循环中温度一致。自旋涂层用于将光敏胶作为非常薄的薄膜涂在基板表面。它具有数字可编程计时器，并为各种抗蚀剂类型提供了许多预先编程的应用周期。该级能够以200-2500 RPM的速度旋转直径达12英寸的基板。总之，SEMITOOL SSTC321280是中高批量生产应用中光敏加工的理想设备。它具有各种特殊的部件，包括曝光头、喷雾显影剂、旋转冲洗和涂层阶段以及输送机。该系统不仅易于访问和维护,而且还能够容纳直径不超过12英寸的各种基材。