二手 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9238796
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Spray solvent system, 8"
Part number: SST-C-221-280
Cabinet: Stainless steel, class 1
Gen-2 build
Front local interface (Standard)
Tool side touch screen
EMO (Front and rear)
Bottom fed facilities
Top fed exhaust
(2) Heated tanks for NMP based processing (Standard)
(2) IPA Tanks (Non heated)
(280) Bowls (Accommodates, 8" substrate-low profile)
Encapsulated ferrofluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
Power supply: 208 VAC, 30 A, 5 wire. 50/50 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
SEMITOOL SST-C-321-280设计用于各种光刻胶应用。它是一种自动化的批处理设备，可以快速高效地处理大负荷的抗蚀剂。该系统旨在在坚固的环境中为各种基板提供准确、可重复的涂层。该装置的特点是由不锈钢组成的底座，使其具有承受光刻过程恶劣环境所需的强度和耐腐蚀性。该基地还配备了一系列位置良好的机械元件,可提高各种苛刻生产环境中的可靠性。机器是完全自动化的，支持淋浴头的可编程运动，允许多个处理步骤和配方。工具的核心是一个280升的腔室，由单级压缩机冷却，在腔室中产生真空。该腔室配有淋浴头和晶片卡盘，用于基材支撑。这种组合确保了均匀和受控的抗蚀剂在基板表面上的分散，提供了一致的厚度。前面板上的数字控件便于设置和操作。腔室上的晶圆传输资产最多支撑八个直径不同的晶圆。它专为生产吞吐量而设计,具有5秒范围内的晶片到晶片时间。这种更快的晶圆传输允许更高的吞吐量以及在生产运行期间更快的启动。晶圆传输模型还设计了一个自清洁机制，以防止污染堆积。为了在生产过程中获得最高的精度,设备的视觉系统配备了集成的视觉和光源系统,以确保基板背面清晰可见。集成系统可随时提供最佳效果。该系统还具有最先进的信号输入/输出控制单元,可远程监视机器的状态。SEMITOOL SSTC321280工具是光刻加工操作的高效可靠工具.它旨在为大规模生产运行提供可靠可靠的运行，并取得高质量的效果。
还没有评论