二手 SEMITOOL SST-C-421-280 #293747945 待售

SEMITOOL SST-C-421-280是为满足半导体行业最苛刻的要求而设计的光阻设备。该系统利用冷板模块、保形冷却和热传感技术，提供了一个超精确可靠的表面电阻率层。冷板模块的工作原理是在加工过程中将冷却冷却剂直接循环到基板上，保持面积均匀，并确保具有一致的光致抗蚀层。单位在最高压力下允许高达10.5 SFM/min的静止压力和28.1 CPI（每英寸接触点）。保形冷却增加了光阻表面层的均匀性，提高了工艺的速度和精度。该技术考虑到基板的形状，以更好的均匀性和更快的周转时间。机器配备了热感应装置，使用户能够完全控制基板的表面温度。它具有±的0.1°C精度，分辨率为0.01 °C，可以为任何应用提供更高的精度和可预测的结果。该工具的其他功能包括具有直观图标的用户友好软件、可调油箱容量可达244 L以及内置的E-Beam板冲洗前和冲洗后阶段。软件还向用户发出进程异常的警报，使他们能够随时修改坦克设置，同时提供所有进程参数的实时报告。总体而言,SEMITOOL SSTC421280光刻胶资产提供高性能、合规性和出色的一致性,使其成为具有挑战性的半导体和器件制造应用的理想解决方桉。